6686体育官网下载泵的极限压力高于102Pa的真空泵属于低真空泵。常见的低真空泵有往复式真空泵、旋转式真空泵、液环式真空泵、喷射式真空泵以及吸附式线Pa的真空泵属于中真空泵。常见的有罗茨真空泵、多级喷射式真空泵、多级旋转机械真空泵以及高速旋转式机械线Pa的真空泵属于高真空泵6686体育官网下载。常见的高真空泵有各种扩散泵及分子泵等。

　　极限压力低于10-5Pa的真空泵属于超高真空泵。超高真空泵主要有各种离子泵、低温泵等。

　　靠机械运动使泵腔工作容积周期变化来实现抽气作用的是机核式容积真空泵6686体育官网下载。属于这类泵的有往复式真空泵、旋转式机械泵(包括旋片式、螺杆式、罗茨式、液环式等)。这类泵中除机械增压泵外，一般均可单独使用。

　　没有机械运动部件,主要靠通过喷嘴的高速射流来抽真空的是射流式真空泵。属于这类泵的有水蒸气喷射泵、空气喷射泵、水喷射泵以及各种扩散泵等6686体育官网下载。这类泵结构简单,工作可靠,寿命长,易于维修,应用比较普遍。

　　被抽气体性质及对污染的要求是选择不同特性真空泵的一个重要条件。它不但与工作时泵的性能有关，而且直接与泵的工作寿命及检修维护情况有关，特别是在化工生产中，它往往是正确选泵的一个关键因素。

　　通常将按此式计算出的有效抽速S增大20%~30%或更大作为主泵的名义抽速。

　　根据有效抽速S以及泵与真空室之间的连接管道的流导U确定主泵的抽速Sp。由流导串联公式有

　　（3）根据被抽气体种类、成分、温度以及气体含灰尘杂质情况选线）根据真空室对油污染要求的不同,来选择有油、无油、半无油、干式、湿式真空泵。干式真空泵适合于要求绝对无油或工作液、或对工作液储存和处理费用比较关切等场合。

　　前级泵的配置及抽速确定主真空泵选定之后,如何配置前级泵，需遵守的原则是：

　　① 求前级泵造成主真空泵工作所需的预真空条件；② 抽走主真空泵产生的最大气体量；

　　③ 必须满足主真空泵进气口能工作的最大压力时所需的预抽时间要求。不同的主真空泵，其前级泵配置各异，分述如下。

　　此类泵包括油扩散泵、油扩散喷射泵以及增扩泵等。在主泵允许的最大排气口压力下，前级泵需将主泵产生的最大气体量及时抽走，即前级泵的有效抽速必须满足：